이큐테크플러스가 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체용 차세대 산화막 증착 장비를 양산한다. SiC 전력반도체는 내구성이 뛰어나 전기차 등 차량용으로 각광 받고 있다.

이큐테크플러스는 산화막 증착 시 화학 반응을 확대할 수 있는 고밀도 라디칼(화학적으로 하나 이상 홀전자를 가진 원자나 분자)을 활용, 기존 고온 열산화 방식을 채택한 장비보다 SiC 웨이퍼 계면 카본 함유량을 약 50% 줄일 수 있는 장비를 개발했다고 밝혔다.

원문링크 = “카본 낮춰 수율 향상” 이큐테크플러스, SiC 반도체용 산화막 증착 장비 상용화