EQ Tech Plus

사업소개 Business 세계 최고 수준의 증착전문기업 EQ Tech Plus

반도체용 산화막 증착 모듈

Oxidation Core Module for Semiconductor

저온에서 라디칼을 생성. 이를 고밀도화 하여, 박막 생성 속도를 향상 시키고
등방특성, 누설전류, 계면 결함밀도 등의 박막 특성을 극대화 시킬 수 있습니다.
EQ Tech Plus 핵심기술
  • 01 라디칼 유닛 (고밀도)
  • 02 적은 챔버 용적 (라디칼 수명 증가, 균일성 향상)
  • 03 열에 의한 활성화 (플라즈마 데미지 없음)
  • 04 새로운 프리커서 (우수한 박막 특성, 비용절감)
  • 05 레시피 최적화 (계면 특성 개선)