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이큐테크플러스, 전력반도체용 산화막 장비 개발 관련 ‘NET 신기술 인증’ 획득

이큐테크플러스

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(주)이큐테크플러스가 ‘라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술’이 산업통상자원부, 국가기술표준원으로부터 ‘NET’(New Excellent Technology) 신기술 인증을 획득했다.

이번에 NET 신기술 인증을 받은 ‘라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술’은 반도체 제조 과정에 꼭 필요한 증착 공정을 기존공정 보다 낮은 온도인 550~700℃에서 열에너지를 이용하여 라디칼을 생성시키고, 라디칼의 반응성을 최대화해 반응가스 고농도화에 의한 고밀도 라디칼 생성이 가능하여, 고품질의 박막 생성이 가능하게 하는 획기적인 반도체 증착기술이다.

출처 : G밸리(http://www.gvalley.co.kr)

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