사업소개 Business 세계 최고 수준의 증착전문기업 EQ Tech Plus

전력반도체용 산화막 증착장비

Equipment for Power Device

멀티 프로세스 & 멀티 웨이퍼 로딩
박막 및 계면 특성을 현저하게 개선하여 고객의 성능 향상에 기여합니다.
하나의 시스템으로 다양한 공정 대응이 가능하며, 100mm에서 300mm까지 여러 웨이퍼의 로딩이 가능합니다.