사업소개
Business
세계 최고 수준의 증착전문기업 EQ Tech Plus
전력반도체용 산화막 증착장비
Equipment for Power Device
멀티 프로세스 & 멀티 웨이퍼 로딩
박막 및 계면 특성을 현저하게 개선하여 고객의 성능 향상에 기여합니다.
하나의 시스템으로 다양한 공정 대응이 가능하며, 100mm에서 300mm까지 여러 웨이퍼의 로딩이 가능합니다.
하나의 시스템으로 다양한 공정 대응이 가능하며, 100mm에서 300mm까지 여러 웨이퍼의 로딩이 가능합니다.
