이큐테크플러스는 반도체 산화막 품질을 올리는 획기적 기술을 개발했다.

김용원 이큐테크플러스 대표는 “굴지의 퍼니스 장비 업체 장비와 비교한 결과 래디컬 밀도, 균일도 면에서 우수한 것으로 나타났다”며 “현재 해외 유력 장비업체와 차세대 장비에 적용하기 위한 협력을 본격 시작했다”고 설명했다.

다양한 응용도 가능하다. 회사의 래디컬 산화 및 원자층증착(ALD) 기술은 실리콘 기반 D램, 낸드플래시, 시스템 반도체는 물론 실리콘카바이드(SiC), 갈륨나이트라이드(GaN) 기반 전력 반도체 같은 화합물 반도체 공정에도 적용할 수 있다.

원문 https://www.etnews.com/20201113000129