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이큐테크플러스가 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체용 차세대 산화막 증착 장비를 양산한다. SiC 전력반도체는 내구성이 뛰어나 전기차 등 차량용으로 각광 받고 있다. 이큐테크플러스는 산화막 증착 시 화학 반응을 확대할 수 있는 고밀도 라디칼(화학적으로 하나 이상 홀전자를 가진 원자나 분자)을 활용, 기존 고온 열산화 방식을 채택한 장비보다 SiC 웨이퍼 계면 카본 함유량을 약 50% 줄일 수 있는 장비를 개발했다고 밝혔다.   원문링크 = “카본 낮춰 수율 향상” 이큐테크플러스, SiC 반도체용 산화막 증착 장비 상용화

  (주)이큐테크플러스가 ‘라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술’이 산업통상자원부, 국가기술표준원으로부터 ‘NET’(New Excellent Technology) 신기술 인증을 획득했다. 이번에 NET 신기술 인증을 받은 ‘라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술’은 반도체 제조 과정에 꼭 필요한 증착 공정을 기존공정 보다 낮은 온도인 550~700℃에서 열에너지를 이용하여 라디칼을 생성시키고, 라디칼의 반응성을 최대화해 반응가스 고농도화에 의한 고밀도 라디칼 생성이 가능하여, 고품질의 박막 생성이 가능하게 하는 획기적인 반도체 증착기술이다. 출처 : G밸리(http://www.gvalley.co.kr)

이큐테크플러스 반도체 장비 국산화 기여 인정 중소벤처기업부 장관 표창 수상   이큐테크플러스는 세계최초로 라디칼을 이용한 매엽식 증착 장비개발에 성공해 반도체장비 국산화와 반도체 산업발전에 기여한 공로를 인정 받아 중소벤처기업부 장관상을 수상했다.   원문 링크 : 이큐테크플러스, 중소벤처기업부장관 표창 수상

이큐테크플러스는 '라디칼 고밀도화와 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술'로 산업통상자원부 국가기술표준원으로부터 'NET(New Excellent Technology)' 신기술인증 획득   NET 신기술 인증은 산업기술혁신법에 따라 국내 최초로 개발했거나 기존 기술을 혁신적으로 개선한 신기술에 산업통상자원부가 부여하는 제도이다.   원문링크 이큐테크플러스, 전략반도체용 산화막 장비 'NET 신기술 인증' 획득 (newspim.com)

이큐테크플러스는 반도체 산화막 품질을 올리는 획기적 기술을 개발했다. 김용원 이큐테크플러스 대표는 “굴지의 퍼니스 장비 업체 장비와 비교한 결과 래디컬 밀도, 균일도 면에서 우수한 것으로 나타났다”며 “현재 해외 유력 장비업체와 차세대 장비에 적용하기 위한 협력을 본격 시작했다”고 설명했다. 다양한 응용도 가능하다. 회사의 래디컬 산화 및 원자층증착(ALD) 기술은 실리콘 기반 D램, 낸드플래시, 시스템 반도체는 물론 실리콘카바이드(SiC), 갈륨나이트라이드(GaN) 기반 전력 반도체 같은 화합물 반도체 공정에도 적용할 수 있다. 원문 https://www.etnews.com/20201113000129