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8inch SiC 박막 증착 가능 문의

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작성자 김경수 작성일19-02-28 16:01 조회550회 댓글1건

본문

안녕하세요.
(주)에프에스티 펠리클사업부 김경수 입니다.
SiC 박막 증착이 가능하신지 문의드리고자 합니다.
가능하다면
1. wafer size는 얼마까지 가능한지?
2. 최소 박막 두께는 얼마인지?

 답변 부탁드리겠습니다.

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