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TiCl4 을 이용하여 TiN증착이 가능하신지요?

페이지 정보

작성자 김주용 작성일20-09-16 11:41 조회3회 댓글0건

본문

안녕하세요? 메카로 화학개발팀 김주용입니다.

혹시 TiCl4과 NH3를 이용하여 TiN증착이 가능하신지요?

메일로 회신주시면 다시 연락 드리겠습니다.

확인 부탁 드립니다.

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